シラン系排ガス処理装置「ミユースクラバー~R(MU SCRUBBER)J

摘要

高濃度の塩化水素(HCL) 600kg/h、ケィ素化合物50kg/ hを各々lvolppm以下、および0.1mg/Nm3以下に処理。ーガス冷却、ガス吸収、除塵工程を1塔で処理可能。