ドライルームの水分濃度および除湿器

摘要

電気自動車やスマートフォンに使用されるリチウムイオン電池をはじめ，電気二重層キャパシタ，有機ELディスプレイなどの製造環境では，空気中に含まれる水分が汚染物質であり，製品の歩留や性能の低下を引き起こす1)。そのため，ドライルームと呼ばれる空気中の水分濃度が非常に低い環境が必要とされている。本稿では，ドライルーム内の水分濃度および除湿器システムフローに関する基本的な知識について述べる。また，当社開発のドライルーム用除湿器の省エネルギー(省エネ)システムについて紹介する。