半導体製造装置向け特殊環境用軸受の開発技術動向

摘要

近年の技術進歩にともなって，転がり軸受が使用される環境や条件は年々過酷化·多様化しており，それに伴い特殊環境用軸受の使用条件も同様にますます厳しくなってきている。なかでも半導体市場は，スマ一トフオンの機能向上やIoT(Internet of Things：モノのインターネット），AI(Artificial Intelligence：人工知能），自動運転などの普及により需要が急速に拡大し，各種製造装置には信頼性や耐久性の向上が求められている。