差動制御方式を用いたSi熱光学式光スイッチの超高速動作

摘要

マルチモード干渉を利用した電流注入位相シフタ構造は，加熱部分の熱容量の低減により高速な温度変化が可能である．MMI位相シフタを両アームに装荷したMZI型のSi熱光学式光スイッチにおいて，両アームへの印加電圧を制御する差動制御方式を用いることで100ns以下での超高速なスイッチングを達成したため報告する．