Представлены результаты экспериментального исследования ВЧ индуктивного источника плазмы малой мощности, помещенного в продольное магнитное поле. Показано формирование ускоряющего ионы скачка потенциала на выходе из источника, величина которого зависит от магнитного поля и существенно меняется с расходом рабочего газа. Обнаружена немонотонная зависимость параметров электронного и ионного потоков, создаваемых источником, от магнитного поля. В основном диапазоне исследованных магнитных полей создаваемый источником поток электронов на оси системы превышает поток ионов, в средняя энергия электронов растет с ростом величины магнитного поля.
展开▼
