精密測定業務の高度化による企業支援の充実-機能性をもつ微細構造の三次元表面性状評価について-

摘要

精密測定業務の高度化の一環として，非接触の三次元粗さ測定により，微細な表面構造の機能性を定量的に評価する手法について検討を行った。代表的な機能性として濡れ性を取り上げ，切削による微細加工で表面の濡れ性を変化させた彳敬細凹凸面を作製した。その彳敬細凹凸面について，一般的な濡れ性の評価指標である接触角と三次元粗さ測定で取得した三次元粗さパラメ一タとの相関関係を検証した。その内容を報告する。