マイクロフォーカスX線源シリーズ

摘要

「nm」「μm」オーダーの分解能により、ボケのない鮮明な透視画像が得られるX線源である。メンテナンスフリーの密封管と、最高分解能0.25μmの開放管など、各種取り揃えている。また、TDI方式（繰り返し積算）を採用し、高解像度と高速·高感度を同時に実現した「X線TDIカメラ」など、各種X線非破壊検査カメラも充実している。基板製造、部品実装·不良解析、高速インライン検査、X線CTなどX線イメージングのあらゆるニーズに応えられる。