ФРИКЦИОННЫЕ И УЛЬТРАСТРУЙНЫЕ ИСПЫТАНИЯ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ПОКРЫТИЙ

摘要

Представлен новый метод диагностики функциональных тонкопленочных покрытий, наносимых ионно-плазменным осаждением с использованием дуговых установок. Показано, что методы фрикционных испытаний, хотя и дают вполне исчерпывающую информацию о функциональных свойствах покрытий, но, тем не менее, обладают серьезным недостатком, связанным с длительностью процесса испытаний. Учитывая широкие технологические возможности методов вакуумного распыления покрытий в части варьирования технологических режимов их нанесения и соответственно значительного количества вариантов свойств и характеристик образцов представляется актуальным иметь в арсенале технолога такие методы оценки качества покрытия, которые бы отличались оперативностью, но одновременно с этим и высокой достоверностью результатов. Предложен метод ультраструйной диагностики функциональных покрытий, а также проведена оценка эффективности результатов его использования в соответствии с информативными данными "классического" метода испытаний на трение (фрикционными испытаниями). В статье сделаны выводы, что предлагаемый метод эффективен и имеет широкий потенциал для внедрения на предприятиях, занятых производством изделий машино- и приборостроения, прецизионного технологического оборудования и станков.