The effects of match circuit on the breakdown process of capacitively coupled plasma driven by radio frequency (vol 131, 153301, 2022)

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• 来源
  《Journal of Applied Physics 》 |2022年第20期| 209904-1-209904-2| 共2页
• 作者

  Wu Hao; Chen Zhaoyu; Yu ShiminWang QixuanLi XiandiJiang WeiZhang Ya;

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• 作者单位

  Huazhong Univ Sci & Technol;

  Wuhan Univ Technol;

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• 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
• 原文格式 PDF
• 正文语种 英语
• 中图分类 应用物理学 ;
• 关键词