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机译:小型カンチレバー型MEMSスイッチの高周波特性
三菱電機㈱情報技術総合研究所;
三菱電機㈱先端技術総合研究所;
Mitsubishi Electric Co. Advanced Technology R&D Center 8-1-1 Tsukaguchi-Honmachi Amagasaki Hyogo 611-8661 JapanMitsubishi Electric Co. Information Technology R&D Center 5-1-1 Ofuna Kamakura Kanagawa 247-8501 Japan;