村田製作所 産業機器向け高精度デジタル2軸傾斜センサを開発

摘要

村田製作所は，産業機器向けに高精度な傾斜検知に対応したデジタル2軸MEMS傾斜センサ「SCL3400シリーズ」を開発した。本製品は，世界中でさまざまなアブリケーシヨンに正確な角度情報を提供してきた実績のある1軸アナログ高性能傾斜センサ「SCA103Tシリーズ」の後継品として開発された。2つの測定軸とデジタルSPI通信インタフエースを備えており，測定帯域幅10Hzで±30°，測定帯域幅40Hzで±90°の測定モードが選択可能である。また，本製品は経年劣化量を含めた才フセツ卜 変動量がTypical 0.12°以下と非常に小さいことから，実質的にメンテナンス不要である。新しく開発された独自のMEMS構造は，複数のマスを持つ差分構造型となっており，測定誤差を最小化する検知方法を採っている。本製品の素子とASICは，12ピンのフレモールドプラスチック八ウジング（測定値8.6×7.6×3.3mm)で信頼性に実績のあるパッケージである。