積層電子部品用セラミックグリーンシー卜へのスクリーン印刷技術

摘要

積層電子部品は，誘電体材料（粉末）を主成分とするセラミックグリーンシート上に'金属紛末ペーストのスクリーン印刷により 内部配線パターンが形成され，積層，焼成等を経て作製される。スクリーン印刷に関係するセラミックグリーンシート，金属粉末ペースト，およびスクリーン（マスク）や印刷機は，相互関係性が強ぐ製品の品質や信頼性に大きく影響する。これらの仕様や製造条件を総合的に検討し，適正化することで高信頼性製品の量産が可能となる。