ターホ分子ポンプの安全性に関するガイドラインの策定とISO規格化

摘要

この度，島津製作所に日本表面真空学会産業賞を贈呈するとの発表を頂いた。表題の受賞業績について，本稿ではその経緯，意義を簡単に紹介する。ターボ分子ポンプは，ロータが高速で回転することで，超高真空を作り出すことができる真空ポンプである。そのロータの持つ回転エネルギーは非常に大きく，ロータの破損によるボンプ脱落，破片飛散のリスクがある。