振動レスで精密な動きを実現~半導体ウェハ搬送口ボッ卜~

摘要

半導体ウェハ搬送ロボットは，半導体製造装置内でウェハなどの搬送用途として使用されます。ウェハを指定する位置に運びたい，ウェハにストレスをかけずに今までと同じ搬送枚数を安全に搬送したい，今までと同じスペースにより多数のウェハを収納したい，などの要望があります。当社はこうした要望に応えるため，より低振動で高精度な搬送ロボットの開発を進めています。