第5世代移動通信システム用ミリ波帯RFICとその半導体技術

摘要

本稿では，第5世代移動通信システム用ミリ波帯RFICに用いられる半導体技術について述べた。具体的には，半導体の主流であるBulk CMOS技術，Bulk CMOSの高周波特性を向上させたSOI CMOS技術，Bipolar技術をベースに高周波特性を向上させたSiGe BiCMOS技術について解説した。また，それぞれの技術を用いて作成されたミリ波帯RFICの例を取り上げた。