Es wird hier ein neues Verfahren fur den Aufbau von miniaturisierten, sehr schnellen und kompakten Gaschromatographen (GC) vorgestellt. Diese miniaturisierten Systeme bestehen aus den mikrotechnisch gefertigten Komponenten einer Trennsaule, eines Injektors, eines Flusssensors (MFS) und eines Warmeleitfahigkeitsdetektors (WLD). Die neue 2 m Trennsaule, gefertigt auf einem Silizium-Chip, ist mit einer plasma-polymerisierten silikonartigen Schicht als stationare Phase belegt. Dafur wurde ein Be-schichtungsprozess, welcher eine homogene Phasendicke mit einer sehr guten Kantenabdeckung in den mikrotechnischen Grabenstrukturen der Trennsaule garantiert, entwickelt [1]. Die Plasma-Polymeri-sation der stationaren Phase an die Trennsaulen-Grabenwan-dungen wurde mit einem plas-ma-gestutzten Gasphasen Ab-scheidungsprozess (PECVD) optimiert [2]. Ein Teststandard-Gemisch aus Alkanen C1-C5 wurde in 60 Sekunden getrennt und das Chromato-gramm zeigt keine Tailing-Ef-fekte.
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