FePt熱アシスト磁気記録媒体の微細組織制御

摘要

4Tbit/in~2以上の超高密度ハードディスクドライブの実現には、磁気記録媒体を構成するFePt微粒子のサイズを5nm以下、粒子密度を24T/in~2以上の超微細組織を実現する必要がある。これまで、FePtの粒子サイズを低減するための検討は数多く行われてきたが、粒子密度に着目した報告は数少ない。本研究では基板表面の核生成サイトに着目して成膜条件を最適化することにより、FePtグラニュラー薄膜の粒子密度を向上させることに成功した。