HSQを用いた試作用ナノ金型の検討

摘要

最近、ナノ周期構造体を用いた光学センサや光学フィルタが検討されている。例えば、光の波長の1/4程度のナノ周期構造体に生じる表面プラズモンを用いて、白色光から各周期に対応した色を取り出すカラーフィルタが開発されている。一般的なナノ構造体の作製手順は、電子線描画などのリソグラフィを用いてドライエッチングマスクを作製する。そしてドライエッチングによりエッチングマスクの形状を被加工物に転写する。しかし、ナノオーダーのリソグラフィには、非常に高価な装置を使用すること、レジスト塗布·露光·現像などの工程数が多いことなどの理由により多額の費用がかかる。そのため、リソグラフィの安価な代替え技術として熱ナノインプリント技術が提案されている。