Разделение кремниевых пластин на диски-кристаллы методом струйно-абразивной обработки

摘要

Проанализированы способы применения метода струйно-абразивной обработки в электронной промышленности. Освещены особенности технологии и оборудования при разделении кремниевых пластин на диски-кристаллы круглой формы. Проведен сравнительный анализ результатов струйно-абразивной обработки и резки кремниевых пластин лазерным диском.