ПОЛИРОВАЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ НА ОСНОВЕ ПОЛИЭФИРУРЕТАНОВ ДЛЯ ПРОЦЕССА ХИМИКО- МЕХАНИЧЕСКОЙ ПОЛИРОВКИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СЛОЕВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

摘要

Авторами статьи предложен метод модификации поверхностных характеристик материала, используемого для промышленного производства полировальных дисков, а также проведена его апробация в лабораторных условиях. Проведены сравнительные исследования полировальных материалов разных производителей с аналогичными характеристиками. Показана возможность использования модифицированных материалов для процесса химико-механической полировки (ХМП) монокристаллических пластин со слоем оксида кремния.