3 電子機械

摘要

電子機械システム事業は，半導体·自動車·プリント基板，液晶分野を中心に，最先端のシステム製品およびサブシステム製品を提供している。システム製品としては，パワー半導体製造向けレーザアニール装置（SWA-90, 93, 20シリーズ），高密度プリント基板の製造向けであるレーザドリル装置（SLRシリーズ），自動車·電子機器関連部品の溶接·切断に使われるファイバレーザ装置（SJLシリーズ）や3次元切断装置（LASERNEXT, Z'cutシリーズ）をラインアップしている。サブシステム製品として，半導体·液晶製造装置用高精度リニアモータ，エアアクチュエータ，半導体露光·高精度，検査装置用の小型超精密XYステージ（SL, SAシリーズ）や真空ステージ（CAシリーズ）と，液晶製造向け中型ステージ（GA, LAシリーズ），自動車·電気電子部品を中心とした幅広い産業分野向けのファイバレーザ（Z'wsシリーズ）を提供している。