8 制御システム

摘要

当社は，半導体·液晶製造装置，各種一般産業機械など，さまざまな市場向けにモーションコントローラ，パワーコントローラ，ドライバ，I/Oユニットなどの制御システム類を提供している。半導体·液晶製造装置においては，微細化や3次元実装化が継続しており高精度化が進んでいる。当社ではこれらの要求に対応すべく，高精度リニアモータ，エアアクチュエータ，超精密XYステージ用コントローラおよび高精度サーボドライバなどを製品化し販売している。塗工機械などの一般産業機械向け制御システムにおいては，EVなどに使用される二次電池需要の急速な立上がりを受け，高速·安定塗工に寄与する間欠塗工システムや，次世代電池用部材の低張力·高精度搬送を実現するエアダンサシステムを提供している。加えて，装置の立上げをスムーズに行うことが可能な試運転調整ツールも製品として提供しており，顧客装置の付加価値向上に貢献している。