Методика определения скорости роста покрытий, конденсируемых из плазмы вакуумно-дугового разряда

摘要

Разработана программа для расчета среднеквадратичного отклонения и доверительного интервала коэффициентов распределения плотности частиц вокруг ионно-плазменного источника в зависимости от количества измерений.