電子ビーム描画装置 ELS-BODEN

摘要

高精細描画から大電流高速描画まで、幅広いアプリケーションに対応する電子ビーム描画装置。特徴は、（1）実績のある同社の鏡筒技術を継承、（2）精細なバターンが優先的であれば150kV/125kV、共通設備などの多種多様な要望には100kV、生産用途の高速描画には50kVと、様々な顧客のニーズに合わせることが可能、（3）8インチ/12インチをラインアップ、（4）フル12インチ描画エリアを実現し、ラインアップ化、（5）小片サイズから、2/3/4/5/6/7/8/12インチサイズのウエハに対応し、マスクも6025や9025インチマスクなどにも対応、など。