極小プローブを用いた精密微細金型の倣い形状測定

摘要

当社は、3次元空間上の位置座標や幾何形状を正確に測定できる3次元測定機を日本国産として初めて製造し、現在でも日本国内で製造、世界各国で販売している。特に厳しい品質管理が求められる金型の設計·製造においては、3次元測定機による計測が必要不可欠になっている。最近ではレーザー変位センサを用いて3次元曲面形状を点群データで取得して、面データとして形状誤差を求める非接触タイプも増えているが、一般的にはタッチトリガープローブと呼ばれる接触センサで測定する場合が多い。ただ、特に電子デバイスや光学デバイスなどに代表される微細金型を計測する場合、プローブ先端球径の大きさや測定可能深さが決まる軸長の短さが問題となる。そこで本稿で紹介する「MiSCAN Vision System（マイスキャン·ビジョン·システム）」では、最小径φ0.125mmからの極小スタイラスに対応し、倣いによる形状測定が可能なプローブシステム「MPP-NANO（エムピーピーナノ）」（図1）の開発により、この問題を解決した。