(001)基板上に形成したFePt合金薄膜の構造特性

摘要

FePt合金薄膜を（001）酸化物単結晶基板上に超高真空マグネトロンスパッタリング法により形成し，膜と基板との界面での応力により生じる面内格子歪に着目し，L1_0相への規則化と結晶配向の制御法の検討を行った．FePtよりも大きな格子定数を持つ基板材料を用い，更に，FePt膜厚を減少させることにより，格子歪が増加し，それにより規則化が促進された．また，MgOキャップ層や高表面エネルギー下地層を用いることにより，極薄のFePt膜に対しても，高い表面平坦性を得ることができ，L1_0（100）およびL1_0（010）バリアントの生成も抑制できることが明らかになった．