プラズマ装置用ZVS／ZCSインバータを搭載した高効率直流電源装置

摘要

本論文は，プラズマ装置用直流電源装置で，3つの提案について述べている。第1にマイクロアーク制御機能は，アークエネルギーを極端に小さくさせるものである。高周波化によって，出力平滑回路の定数を極力小さくすることが可能になり，アークエネルギーは，0.3mJ/kw未満を実現している。第2にイグニッション電圧機能は，昇圧機能を搭載している回路により，プラズマの点火に必要な高電圧を任意に設定できる。第3にインバータ回路のZVS／ZCS機能は，高周波スイッチングロスを減少させるためのソフトスイッチングの採用で，スイッチ素子4個とLC共振回路により実現している。実験結果より，アークエネルギー4.5mJ/15kW未満とイグニッション電圧1600Vの発生とAC-DCの変換効率92％が得られた。