机译:使用腔压力传感器的故障排除过程
机译:使用腔压力传感器的故障排除过程
机译:基于腔 - SOI工艺的横向振动MEMS谐振真空传感器,用于评估广泛的密封腔压力
机译:基于毒素/污染物气压传感器的扰动微波谐振腔中的功能化单壁碳纳米管传感器
机译:平面表面微机械压力传感器,具有地下嵌入式参考压力腔
机译:植入式无线传感器,用于连续监测房内压力
机译:具有用于绝对压力感测的集成真空腔的低温漂移声波压力传感器
机译:stokes和anti-stokes中的正常模式分裂和反聚束 腔体光机械学中的过程:辐射压力引发的四波 混合腔体光机械
机译:平面表面微加工压力传感器,带有一个子表面,嵌入式参考压力腔