電気光学ポリマーの電気光学定数の評価のための簡便で信頼性のあるアパチャーなしの透過型エリプソメトリー法の開発

摘要

近年、電気光学ポリマーは超高速光変調器や光スイッチ、デジタルシグナル伝送、電界センサーなど様々な応用が期待されている。熱及び化学的な安定性に優れた大きな超分極率を持った電気光学色素が開発され、電気光学定数r_(33)が100pm/Vを超える電気光学ポリマーに関する報告がなされてきている。電気光学定数r_(33)を評価する方法は幾つかあるが、測定方法が比較的単純で、その測定のための試料準備が簡易であることから、反射型のエリプソメトリー法が多くの研究で用いられてきている。一方、この測定法は注意深く実験を行わなければ人為的、原理的な測定誤差が生じやすいなどの欠点が指摘されてきている。本研究では、電気光学ポリマーの電気光学定数r_(33)の評価のための簡便で信頼性のあるアパチャーなしの透過型エリプソメトリーの開発を行った。