デジタル式音響コム型アコースティック?エミッション(AE)センサの開発とそのインフラへの適用について第9回多摩川精機㈱製のデジタル式音響コム型AEセンサの適用事例ついて(その3)

摘要

本連載「デジタリレ式音響コム型アコースティック?エミッション(Acoustic Emission、以下AEと略す)センサの開発とそのインフラへの適用について」の第1回では、「AEの人工物?インフラへの適用と非破壊検査について」として、非破壊検査におけるAEの位置付けとその意義を示した。第2回では、AE、音とはなにか、また、AE(音)に関連する単位、そしてAE計測の概要について述べた。第3回では、AE信号とその伝播特性、AEセンサの概要、音響センサの種類について報告した。第4回では、従来のAEセンサとはまったく異なる画期的な筆者らが発明?開発したMEMS技術を用いた音響コム(櫛、カンチレバーのアレイ形状)型デジタル式AEセンサ開発の概要について報告した。第5回および第6回では、LiNbO3二オブ酸リチウム(以下、LN)材を用いた高性能な開発した音響コム型AEセンサの概要、設計およびそのシミュレーション方法。そのAEセンサの製作工程、そして、そのLN材ー体型力ンチレバーアレイ音響コム櫛型デジタル式デジタルAEセンサの設計計算値と基本特性との比較および、その電気特性など評価方法について報告した。そして第7回、および前回の第8回では、多摩川精機㈱製のデジタル式音響コム型AEセンサの適用事例として、切削加工時のリアルタイムモニタリングが可能かどうかについて報告し、実時間監視が可能であることを明らかにした。