半導体#12539;液晶産業用の超純水製造システムの新提案

摘要

以上，半導体・液晶工場で使用される超純水製造システムについての基本的な説明と，最近の新技術や分析法の提案について簡単に紹介した。 すでに述べたように，超純水製造システムに対しては水質の向上ばかりではなくイニシャルコスト，ランニングコスト，スペース，メンテナンスコスト廃棄物量の削減などいろいろな面からの改良・開発の要求がある。 これらの要求に沿うような，ますます高性能な超純水製造システムの開発が望まれる。