接合型ポリマー光導波路の作製

摘要

ポリマーならではの特長を活かした簡便な光回路作製プロセスを用いて、アクティブポリマー光導波路、特に接合型光導波路の作製法について紹介する。ソフトリソグラフィー法と光架橋性高分子の直接露光法の組み合わせ技術は、パッシブポリマー光導波路作製簡易プロセスを適用していることから、時間·工程の短縮につながる。接合部一箇所当たりの接合損失は、0.007dB/pointであり、従来のプロセスによる接合損失と同等の低損失値であった。