ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИЙ ДАТЧИК ОДНОВРЕМЕННОГО ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ И ДАВЛЕНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ИНТЕРФЕРОМЕТРА ФАБРИ-ПЕРО И ВОЛОКОННОЙ БРЭГГОВСКОЙ РЕШЕТКИ

摘要

Представлен датчик одновременного измерения давления и температуры, выполненный полностью из кварцевых компонентов и с использованием интерферометра Фабри - Перо и волоконной брэгговской решетки (в.б.р.). Такая комбинация позволяет одновременно измерять температуру и давление, а также снизить вклад температуры в измерение давления. Чувствительным элементом является мембрана из кварцевого стекла, выполненная травлением. Чувствительность датчика к давлению составляет 50 нм/бар, а к температуре 4.6 нм/℃ со стороны интерферометра Фабри - Перо и 10 пм/℃ со стороны в.б.р. Показано использование в.б.р. в качестве термокомпенсирующего элемента.