ナノクラウニングシステム

摘要

従来，量産工程においてクラウニング加工は，歪みの測定とABS面への機械加工（ダイヤモンド工具による溝加工や研磨によるラッピング等）を繰り返し行っている。 しかしこの加工は，研磨仕上げされたABS面へ追加工しなければならず，またタクトタイムが長い等の問題がある。 本研究は，上述の問題点を解決した高精度かつ制御可能なYAGレーザによるクラウニング加工を実現した，量産用HDD 用磁気ヘッドクラウニング加工装置について報告する。