半導体工場における空調·熱源設備の大規模省エネルギ旭施策の実施

摘要

ソニーセミコンダクタ九州（株）鹿児島テクノロジーセンターにおける空調システム，とりわけ高効率熱源システムによる大規模省エネルギー施策を工場停止期間を最小限に抑えて実施した例を紹介する。