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Umfassende Prozesskontrolle fur Openair-Plasma-Systeme

机译:Umfassende Prozesskontrolle fur Openair-Plasma-Systeme

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摘要

Fine der grossen Herausforderungen in der Oberflachenbehandlung mit Plasma ist, dass sie keine sichtbaren Spuren auf dem Substrat hinterlassen soll. Wie beurteilt man also das Ergebnis der Behandlung? Hilfsgros-sen, wie die rein visuelle Betrachtung des Plasmastrahls zum Beispiel in Bezug auf seine Farbe, reichen laut der 25-jahrigen Erfahrung von Plasmatreat nicht aus, um die Qualitat der Behandlung ganzheitlich beurteilen zu konnen.

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