制御システム

摘要

高精度·高機能フレキシブルデバイスを印刷により製造する技術PE（Printed Electronics）や，新素材を使った基材の出現および基材の薄膜化などにより，極低張力かつ極低張力変動での基材搬送技術が求められている。Roll to Roll生産機におけるダンサ張力制御機構では，ロールに連結されたシリンダの可動範囲内でパス長を変化させ張力の変動を吸収する。しかし，シリンダ部の静止摩擦による不感帯，摺動抵抗によるヒステリシスの存在や制御応答性の問題から，張力変動の抑制には限界がある。そこで，張力変動の抑制をより高度に実現すべく，当社製空気圧アクチュエータAIRSONICをダンサ機構のシリンダ部に採用したAIRSONICダンサを開発した。