...
机译:通过电子束光刻制造的用于紫罗兰色波长的高效闪耀衍射光学元件
机译:通过电子束光刻制造的用于紫罗兰色波长的高效闪耀衍射光学元件
机译:使用顶部导电涂层的电子束光刻和干法蚀刻技术制造的微光学元件
机译:通过使用直接激光光刻制造衍射光学元件阵列的方法
机译:用于通过电子束光刻制造的紫色波长的高效闪光衍射光学元件
机译:通过电子束光刻技术制造衍射光学元件。
机译:平面超振荡透镜用于紫光波长下的亚衍射光学针
机译:通过电子束光刻制造的三维衍射微米和纳米光学元件
机译:X射线光刻的新应用:具有深相分布的闪耀差分光学元件的制造