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机译:リアクティブスパッタリング法とイオンビームミキシング法を組み合わせた新たな窒化膜作製技術の開発
机译:"ケンサク シアゲメン アラサ ニ カンスル ケンキュウ (シアゲ ケンサク ニオケル, ドウイツテン ケンサク カイスウ ニツイテ)"