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WIDE-BAND OPTICAL FIBRE SYSTEM FOR INVESTIGATION OF MEMS AND NEMS DEFLECTION

机译:宽带光纤系统调查MEMS和NEMS偏转

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摘要

In this work the construction of experimental setup for MEMS/NEMS deflection measurements is presented. The system is based on intensity fibre optic detector for linear displacement sensing. Furthermore the electronic devices: current source for driving the light source and photodetector with wide-band preamplifier are presented.
机译:在这个实验的建设工作设置为MEMS / NEMS挠度测量提出了。光学探测器线性位移传感。此外,电子设备:电流驱动光源和来源与宽带光电探测器前置放大器提出了。

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