UV-Laserklingen für flexible Bildschirme und Dünnschichtelektronik

摘要

Laser sind die Schlüsseltechnologie für innovative Anwendungen in der Mikroelektronik. Aufgrund der Berührungslosigkeit der Laserstrahlung sowie der M?glichkeit, lokal begrenzt und sehr flexibel arbeiten zu k?nnen, eignen sich unterschiedliche Laserprozesse besonders für die Fertigung von dünnen und ultradünnen mikroelektronischen Komponenten.