オンボード·オンチップインターコネクトのためのポリマー光導波路

摘要

本稿では、三次元コア配線を容易に形成できるポリマー光導波路の作製法「モスキート法」により作製した、オンボード·オンチップインターコネクトのための三次元光導波路(マルチコアファィバのためのfan-in/out導波路、シリコンフォトニクスチップのためのテーパコア導波路型スポットサイズ変換器)について紹介する。