浜松ホトニクスGaN結晶品質評価装置開発ODPL測定法利用

摘要

浜松ホトニクスは、独自の光検出技術や光学設計技術、情報処理技術により全方位フォトルミネッセンス(ODPL)測定法を利用した結晶品質評価装置「ODPL測定装置C15993-01」を開発。8月から国內外の大学や半導体基板メーカーの研究者に向けて販売を開始する。価格は1100万円(税込み)。