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Hochgenaue Positionierung eines Interferometers: Prazisionskleinantriebe fur Mess- und Fertigungsmaschinen

机译:干涉仪的高精度定位:用于测量和制造机器的精密小型驱动器

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摘要

Die Anforderungen an die Bewegungsgute und Dynamik von Mess- und Fertigungsmaschinen wachsen stetig. Ziel ist es, bei erhohter Fertigungsgenauigkeit zugleich die Produktqualitat und die Fertigungsdurchlaufzeit pro Stuck zu senken.
机译:对移动货物以及测量和制造机器的动力的需求正在稳步增长。目的是在提高制造精度的同时降低产品质量和每件产品的生产时间。

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