住化、EUVレジスト強化量産デバイス向け月内に供給へ品質管理体制も拡充

摘要

住友化学は、最先端半導体プロセス向けのEUV(極紫外線)フォトレジストを強化する。試作や評価向けでの実績をもとに、大手フアウンダリーから量産向け受注を獲得。大阪工場(大阪市此花区)から月内に供給を開始する。2～3年後に100億円を超えるとも言われるEUV市場を捉える。2022年度上期をめどに建設を進める大阪工場の新棟でフォトレジストの品質管理体制の拡充も行う。世界トップシェァを持つArF(フッ化アルゴン)液浸用レジストなどとともに、EUVでも存在感を出していく。