Исследование фрактальных структур Cu, полученных методом ионного магнетронного распыления

摘要

Рассмотрены и обсуждены вопросы, связанные с разработкой и исследованием методов получения фрактальных наноразмерных тонкопленочных структур и областями их применения. Приведены описание экспериментальных методик и оборудования и результаты экспериментальных исследований, связанные с получением фрактальных наноразмерных пленок Cu. Показаны возможности практического применения таких структур.