Модификация поверхностного слоя металлической подложки при газоразрядном напылении пленок цирконата титаната свинца

摘要

Методом рентгенофлуоресцентного анализа при угле скользящего падения обнаружено, что на начальном этапе газоразрядного напыления ЦТС (Pb—Zr—Ti—O)-пленки на нержавеющую сталь имеет место исчезновение изначально существовавшей поверхностной мозаики (текстуры) подложки. Обнаружено, что на начальном этапе состав растущей в камере газового разряда ЦТС-пленки по поверхности нержавеющей стали на начальном этапе пространственно неоднороден: титан осаждается на ровную часть (зеркальную для рентгеновского излучения) поверхности подложки, а свинец и цирконий осаждаются в других местах. С увеличением времени напыления на подложку из нержавеющей стали элементный состав пленки ЦТС меняется и стремится к элементному составу распыляемой ЦТС-мишени.