超臨界CO_2によるケミカルフィルタ洗浄：超臨界CO_2溶媒とした有機用フィルタの洗浄·再生技術

摘要

現在、廃棄物の削減やCO_2排出量の削減につながる環境関連技術が求められている。これまで電子デバイス関連工場等では有機用フィルタが性能劣化すると廃棄されていた。ここでは、そのフィルタを超臨界CO_2により洗浄再生するプロセスとその評価（効果）を紹介する。