わかりやすく学べるクリーンルームの基礎と汚染対策 第5回 塵埃·ミスト（その3）

摘要

前回（第4回）は、クリーンルーム（以下、CR）の汚染物質「塵埃·ミスト（液滴）」に関し、物からの発塵、機器からの発塵、人体からの発塵機構の一部について述べた。今回（第5回）はその続きで、特に人体からの塵埃拡散状況について解説した上で、人体からの発塵機構のまとめを行う。また、クリーンスーツ選定の考え方についても述べる。