μMIT方式データ・ダイレクト・イメージングシステム

摘要

回路パターン形成工法の一つとして，データ・ダイレクト・イメージング（DI）が，回路パターン形成の市場に認知されて久しい．回路パターン形成工法におけるDIとは，マスクレス（マスク製造工程なし）で，回路パターンをフォトレジスト付き基板に直接描画する工法であり，多品種・小ロット，短納期，高多層基板及び高精細基板の製造には，最適のシステムと考えられる．